"Просмотр контекстов [в НКРЯ] показывает, что активность слова виртуальный связана прежде всего с развитием информационных технологий и интернета"; "По данным корпуса, рост частотности этого слова наблюдается с конца 1990-х годов"

"слово это было известно еще в XIX веке"; "В XX в. слово использовалось как термин в физике, психологии, философии"; "В конце ХХ в. к имеющимся значениям добавилось еще одно специальное значение, относящееся к сфере информатики"

"непрофессиональное значение слова виртуальный, синонимичное словам ирреальный, сюрреальный, вымышленный, искусственный, воображаемый, умозрительный, встречается в текстах и до начала XXI в." (примеры в НКРЯ - с 1996 г.); "в случае со словом виртуальный в современном значении мы имеем дело не с семантическим развитием философского термина, а с вторичным заимствованием, которое вошло в русский язык с распространением интернета"

"гусеница приобрела техническое значение много раньше, чем червяк. Уже на рубеже XIX–XX веков гусеницей начали называть части военных машин"