ввиду
XIX—XXI
Финкель А.М. Производные причинные предлоги в современном русском литературном языке. Их возникновение, развитие, значение, употребление. Харьков, 1962.

«Предлог ввиду входит в употребление. . . лишь в середине XIX века» (с 40-х гг.). «Объединение предвидения, намерения и причины. . . и было то первичное его значение, из которого развилось, наконец, значение чисто причинное и употребление сочетания ввиду в служебной функции.»

 с. 167-189
появление в языке
Филиппова В.М. Изменения в системе словосочетаний // Глагол, наречие, предлоги и союзы в русском литературном языке XIX века. М., 1964

«С 60–70-х гг. XIX в. в активное соотношение с конструкциями с предлогом в силу вступает конструкции с предлогом ввиду, который к этому времени определился как одно из средств выражения причинных отношений: конструкции с этим предлогом были лишены оттенка значения основания, соответствия, свойственного конструкциям с предлогом в силу. Наибольшее распространение эти конструкции получают в деловой речи.»

 с. 42-43
Черкасова Е.Т. Переход полнозначных слов в предлоги. М., 1967.

«Формирование предлога ввиду, служащего для выражения [будущей] причины.., опиралось на употребление в виду в составе описательного глагольного оборота быть в виду.» «Примеры. . . [предложного] употребления в виду в контексте, указывающем на то, что причина мыслится как нечто предстоящее, что должно быть учтено и принято во внимание, начинают отмечаться с 60-х годов XIX в.» (А. Дельвиг: «Он в виду скорого производства в офицеры, отмалчивался»). «С 60-х годов XIX в. (и, по-видимому, не без стимулирующего воздействия французского en vue de qch) начинают распространяться (прежде всего в научно-публицистической речи) такие конструкции, в которых в виду, впитавшее в себя значение всего описательного глагольного оборота (иметь в виду), функционирует в условиях двусторонних синтаксических связей: соединяя полнозначные глаголы, не принадлежащие к группе глаголов со значением „иметь“, и зависимое имя отвлеченного значения (главным образом — отглагольное), в виду превращается в предлог, служащий для выражения причинно-следственных отношений.»

 с. 135-139
Черкасова Е.Т. Здравый смысл и языковая норма // Русская речь. 1968. № 2 , c. 62-66

«Предлог ввиду, служащий для указания на то, что причина мыслится как нечто предстоящее.., был малоупотребителен и в период возникновения (60-е годы XIX века), и позднее. . . В другом же значении, близком к значению причинного вследствие, этот предлог получил самое широкое распространение.»

 с. 63

ввиду того, что
XIX—XXI
Черкасова Е.Т. Изменения в составе союзов // Глагол, наречие, предлоги и союзы в русском литературном языке XIX века. М., 1964

Причинный союз ввиду того, что отмечается с 60–70-х годов XIX в.

 с. 288
появление в языке