сделаться
XV—XVII
XVIII
Руднев Д.В. Полузнаменательные связки в русском языке XVII века // Русский язык в научном освещении. 2012. № 2 (24) , c. 285-301
Глагол делаться/сделаться в функции связки "очень широко распространился в русском языке с 1730-х гг. и на протяжении XVIII — первой половины XIX в. был серьезным конкурентом связки стать"
с. 289
активизация
грамматикализация