сделаться
XV—XVII
Руднев Д.В. О происхождении связочного глагола стать // Русский язык в научном освещении. 2014. № 2 (28) , c. 82-103

"Первые случаи связочного употребления глагола (с)делаться встретились в переводном памятнике второй половины XVI в. «Назирателе»"

 с. 94
грамматикализация
XVIII
Руднев Д.В. Полузнаменательные связки в русском языке XVII века // Русский язык в научном освещении. 2012. № 2 (24) , c. 285-301

Глагол делаться/сделаться в функции связки "очень широко распространился в русском языке с 1730-х гг. и на протяжении XVIII — первой половины XIX в. был серьезным конкурентом связки стать"

 с. 289
активизация грамматикализация