режим
XIX—XXI
Сорокин Ю.С. Развитие словарного состава русского литературного языка. 30–90-е годы XIX века. Москва; Ленинград, 1965

В словарях XIX в. не фиксируется. Еще в 60-х гг. XIX в. употребляется в иностранном обличье (франц. régime). И в общем и в общественно-политическом значениях входит в употребление не ранее 70–80-х гг.

 с. 156
появление в языке

старый режим
XIX—XXI
Селищев А.М. Язык революционной эпохи. Из наблюдений над русским языком последних лет (1917-1926). М., 1928
политика

"Некоторые термины были заимствованы русскими революционерами
и общественными деятелями у французских. Напр.: старый режим, петиция (1905), декрет, экспроприация, национализация, коммуна, комиссар, трибунал, порядок дня, объявить вне закона"

 с. 21
появление в языке