путём
XIX—XXI
Черкасова Е.Т. Переход полнозначных слов в предлоги. М., 1967. ⓘ
«Соединяя глаголы отвлеченного значения с зависимыми от них именами со значением действия, форма путем утрачивает признаки „предметного“
слова. Случаи такого (предложного) употребления путем начинают отмечаться в публицистике и в научной литературе с 70–80-х годов XIX в.» «В системе русских предлогов путем укрепляется позднее» — в XX в.
семантическая эволюция
Черкасова Е.Т. Изменения в составе предлогов // Глагол, наречие, предлоги и союзы в русском литературном языке XIX века. М., 1964 ⓘ
См.
с. 257-258