путём
XIX—XXI
Черкасова Е.Т. Переход полнозначных слов в предлоги. М., 1967.

«Соединяя глаголы отвлеченного значения с зависимыми от них именами со значением действия, форма путем утрачивает признаки „предметного“
слова. Случаи такого (предложного) употребления путем начинают отмечаться в публицистике и в научной литературе с 70–80-х годов XIX в.» «В системе русских предлогов путем укрепляется позднее» — в XX в.

 с. 90-92
семантическая эволюция
Черкасова Е.Т. Изменения в составе предлогов // Глагол, наречие, предлоги и союзы в русском литературном языке XIX века. М., 1964
 См.  с. 257-258