нелегальный
XIX—XXI
Сорокин Ю.С. Развитие словарного состава русского литературного языка. 30–90-е годы XIX века. Москва; Ленинград, 1965

Слово явилось в 70-х гг. XIX в., с развитием революционного движения в России, вызвавшего сеть тайных организаций. Нелегальный употреблялось и субстантивированно — для обозначения революционеров, скрывавшихся от правительства

 с. 152
появление в языке