затем

затем что
XV—XVII
Черкасова Е.Т. К истории причинных союзов относительного типа в русском языке // Зборник за филологиjу и лингвистику. Нови сад, 1959 , c. 36-57

"К концу XV — началу XVI вв. в недрах деловой письменности появляются и к XVII в. получают широкое распространение новые производные причинные союзы, восходящие к склоняемым формам указательных местоимений (потому что, оттого что, для того что, затем что)"

 с. 41
активизация появление в языке