кальвария
XV—XVII
Богатырев А.В. Кальвария: «череп», «холм», «святое место» // Русская речь. 2019. № 1 , c. 58-66
церковь

"Впервые «кальвария» мелькнула в русском языке в XVII веке, появившись в переводе текста середины XVI столетия. Под «кальварией» подразумевалась черепная коробка, черепной свод [Филин (ред.) 1980: 34], начальное же звено семантической эволюции разбираемого слова связано со смысловой моделью «голова, лоб, череп» → «вершина горы, выступ, голый склон и проч.»"

 с. 60
первая фиксация в языке семантическая эволюция
XIX—XXI
Богатырев А.В. Кальвария: «череп», «холм», «святое место» // Русская речь. 2019. № 1 , c. 58-66

В XIX в. лексема стала встречаться чаще - "использовалась для обозначения географических объектов: как название «местечка» указана «Кальвария» в «Периодическом сочинении об успехах народного просвещения» [НарПросв 1809: 282], то же наблюдаем в юридических документах ... и «Географии» К. Арсеньева"

 с. 62
семантическая эволюция